
氯氣(Cl?)作為一種強(qiáng)氧化性氣體,在半導(dǎo)體制造過程中具有不可替代的作用,主要用于晶圓蝕刻、光刻膠剝離、離子注入清洗等關(guān)鍵工藝。例如,在晶圓干法蝕刻環(huán)節(jié),氯氣可與硅材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng),精確去除特定區(qū)域的半導(dǎo)體材料,實(shí)現(xiàn)微米級電路圖案的構(gòu)建;在光刻膠剝離工藝中,氯氣與氧氣的混合氣體能高效清除光刻膠殘留,確保后續(xù)工藝的潔凈度。
然而,氯氣的化學(xué)特性也帶來顯著安全風(fēng)險:其具、強(qiáng)腐蝕性,空氣中濃度超過0.5ppm時即可引起呼吸道刺激,達(dá)到5ppm以上會導(dǎo)致嚴(yán)重中毒,甚至危及生命。半導(dǎo)體工廠中,氯氣通常以高壓鋼瓶或管道形式存儲運(yùn)輸,若發(fā)生閥門泄漏、管道老化或設(shè)備故障,極易引發(fā)泄漏事故,不僅威脅操作人員健康,還可能導(dǎo)致生產(chǎn)線停工、設(shè)備損壞,造成巨額經(jīng)濟(jì)損失。因此,實(shí)時、精準(zhǔn)的氯氣濃度監(jiān)測是半導(dǎo)體工廠安全管理的核心環(huán)節(jié)。

深國安作為國內(nèi)氣體檢測設(shè)備領(lǐng)域的專業(yè)廠商,其便攜式氯氣氣體檢測儀憑借高精度、高可靠性和場景適配性,成為半導(dǎo)體行業(yè)氯氣安全監(jiān)測的理想選擇。其核心技術(shù)特點(diǎn)包括:
采用進(jìn)口電化學(xué)傳感器或激光光譜傳感器,可實(shí)現(xiàn)0-20ppm量程內(nèi)的精準(zhǔn)檢測,分辨率達(dá)0.01ppm,響應(yīng)時間<3秒,確保在氯氣泄漏初期即可觸發(fā)警報。半導(dǎo)體工藝對環(huán)境污染物極為敏感,微小泄漏可能導(dǎo)致晶圓報廢,而快速響應(yīng)能力能為操作人員爭取應(yīng)急處置時間,最大限度降低損失。
輕量化與續(xù)航能力:設(shè)備重量通常<300g,配備大容量鋰電池,單次續(xù)航可達(dá)8-12小時,滿足半導(dǎo)體工廠多班次巡檢需求;
抗干擾與耐用性:外殼采用IP67防塵防水設(shè)計,可在半導(dǎo)體車間的無塵環(huán)境、高溫高濕區(qū)域(如清洗工段)或設(shè)備密集區(qū)域穩(wěn)定工作,避免粉塵、水汽對檢測精度的影響;
多功能報警模式:支持聲光報警(85dB蜂鳴+紅色LED閃爍)、振動報警及數(shù)據(jù)超標(biāo)自動記錄,適應(yīng)嘈雜車間環(huán)境下的警示需求。
設(shè)備內(nèi)置數(shù)據(jù)存儲功能,可記錄歷史檢測數(shù)據(jù)(如濃度曲線、報警時間),并通過藍(lán)牙或USB接口導(dǎo)出,便于工廠進(jìn)行安全審計與工藝優(yōu)化。同時,其檢測精度符合國際電工委員會(IEC)及中國《工作場所有害因素職業(yè)接觸限值》(GBZ 2.1-2019)中對氯氣(PC-TWA 1mg/m3,約0.3ppm)的監(jiān)測要求,助力企業(yè)滿足OSHA、SEMI等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)合規(guī)性要求。
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